モリブデンボートは、純粋なモリブデンまたはモリブデン合金で作られた小さなボート型の容器であり、通常、材料の真空蒸発などの高温用途に使用されます。 その高い融点、優れた耐食性、および高温での強度のために、モリブデンはそのような用途に理想的な材料です。 モリブデンボートは、さまざまな業界の特定の顧客要件を満たすように設計された、さまざまなサイズ、形状、および厚さで利用できます。
モリブデンボートの動作原理はシンプルで簡単です。 それらは、通常、真空蒸発およびスパッタリングプロセスにおいて、高温用途に使用されるモリブデン製のボート型容器である。 モリブデンボートは、蒸発またはスパッタされる材料のホルダーまたはソースとして機能し、高温に加熱されてボートの表面から蒸発します。 その高い融点のために、モリブデンボートは蒸発プロセスに必要な高温に耐えることができます。 蒸発した材料は基板上に凝縮し、薄いフィルムまたはコーティングを形成する。 モリブデンボートは、温度勾配を制限し、材料の均一な蒸発を保証するように設計されています。 モリブデンボートの正確な形状と寸法は、蒸発プロセスの均一性と効率に重要な役割を果たします。
1.平らな溝モリブデンのボート: 高いぬれ性材料のために適した;
2. V溝モリブデンボート: 低濡れ性材料に適しています。
3.楕円溝モリブデンボート: 溶融材料に適しています。
4.球面溝モリブデンボート: 金や銀などの高価な材料に適しています。
5.狭い溝モリブデンボート: そのような設計はフィラメントクリップに付着することから蒸発材料を防ぐことができます;
6.アルミニウムメッキボート: ボート本体の表面にアルミナをメッキすると、蒸発ボートが腐食性の強い溶融材料に抵抗するのに役立ちます。
モリブデンのボートは高温環境の蒸発のために使用されるときいくつかの利点を提供します。
モリブデンは約2623 ℃ という非常に高い融点を有し、溶融または分解することなく非常に高い温度に耐えることができる。 これにより、モリブデンボートは、材料が蒸発するために高温条件が必要な真空蒸発およびスパッタリングでの使用に理想的になります。
モリブデンは優れた熱伝導率を備えており、蒸発剤の均一な加熱を保証し、均一な蒸発とより高品質の薄膜をもたらします。
モリブデンは熱膨張が低く、熱応力でボートが変形したり割れたりしないようにします。
モリブデンは優れた耐食性と純度を誇り、純度と均一性が重要な高純度半導体アプリケーションでの使用に最適です。
全体として、高い融点、優れた熱伝導率、高い耐食性など、モリブデンのユニークな特性により、蒸発やスパッタリングに使用するのに理想的な材料となっています。特に高温および腐食性の环境で。