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モリブデンシールドとしても知られるモリブデンガイドシェルは、上部開口部が大きく、下部開口部が小さいトランペットのような形状をしています。 単結晶炉のさまざまなメーカーは、上部開口部にさまざまなスタイルを提供しています。
適用されると、モリブデンガイドシェルは従来のグラファイトガイドシェルに挿入され、結晶引上げ速度が向上します。 多くのクライアントの実践は、モリブデンガイドシェルを使用すると、以前の方法と比較して結晶の引っ張り時間を2〜4時間短縮できることを実証しています。
モリブデンシールドと呼ばれるモリブデンガイドシェルは、上端に大きな開口部があり、下端に小さな開口部があるトランペットのような形状をしています。 単結晶炉のメーカーが異なるため、上部の開口部はさまざまな形をしています。
使用されると、モリブデンガイドシェルは、従来のグラファイトガイドシェルに挿入され、結晶引っ張りの速度の向上につながる。 多くのクライアントは、モリブデンガイドシェルを使用すると、以前の方法と比較して結晶の引っ張り時間が2〜4時間短縮されることを証明しています。
純度 | MO ≥ 99.95% |
密度 | ≥ 10.1/cm3 |
供給仕様 | 16インチ、18インチ、22インチ、等。 |
モリブデンガイドシェルは、単結晶炉プロセスで使用すると多くの利点があります。 主な利点の1つは、それらが変形することなく炉内の高温条件に耐えることを可能にする高い融点である。 モリブデンガイドシェルの他の利点には、高い熱伝導率と優れた耐食性が含まれ、結晶成長プロセスの汚染を防ぎます。
モリブデンガイドシェルも非常に耐久性があり、その靭性と強度により、結晶の成長中に発生する機械的応力に耐えることができ、使用期間が長くなり、メンテナンス要件が削減されます。
しかし、単結晶炉プロセスでモリブデンガイドシェルを使用することに伴ういくつかの欠点がある。 モリブデンは、グラファイトや炭化ケイ素などのガイドシェルに使用される他の材料に比べて比較的高価な材料であるため、第1の欠点はコストである。
もう1つの欠点は、他のガイドシェル材料を使用する場合と比較して、モリブデンガイドシェルを使用する場合の結晶の成長率が比較的低いことです。 この低い成長率は、サイクル時間の増加とプロセス期間の延長につながり、コストを増加させ、全体的な生産性に影響を与える可能性があります。
最後に、モリブデンガイドシェルは損傷を防ぐために注意深い取り扱いが必要であり、腐食や他の材料との反応を防ぐために制御された環境に保管する必要があります。
結論として、単結晶炉プロセスでモリブデンガイドシェルを使用する利点は、高温耐性、高い耐久性、および優れた耐食性が品質と再現性の向上につながるという欠点を上回ります。メンテナンスが減少しました。
モリブデンガイドシェルは、その独特の熱的および機械的特性により、単結晶炉業界で広く使用されています。 融点の高い耐火金属として、モリブデンは炉内の高温で過酷な条件に耐えることができます。
モリブデンガイドシェルの主な用途の1つは、半導体業界で使用されている単結晶シリコンの製造です。 モリブデンガイドシェルは、結晶の成長を誘導および制御するために使用され、単結晶シリコンの円筒形インゴットを形成します。 モリブデンガイドシェルの高純度と低不純物含有量は、単結晶シリコンの汚染を防ぎます。
モリブデンガイドシェルの他のアプリケーションには、サファイア、ガリウムヒ素、およびその他の関連する電子材料の製造が含まれます。 モリブデンガイドシェルは、結晶成長プロセス中に使用され、複数の小さな結晶ではなく、単一の大きな結晶の形成を確実にします。
モリブデンガイドシェルは、高純度石英の製造にも使用されます。 モリブデンガイドシェルの使用は、結晶成長プロセス中の汚染を防ぐのに役立ち、より均一で高品質の製品をもたらします。
全体として、モリブデンガイドシェルは単結晶炉業界で不可欠なコンポーネントであり、半導体、電子機器、およびその他の関連産業で使用される高品質の単結晶材料の生産を保証します。
