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モリブデンシードチャックは、半導体業界で使用されるコンポーネントであり、結晶成長プロセス中にシリコンウェーハまたはシードクリスタルのホルダーとして機能します。 シードチャックは、高品質で欠陥のない結晶を作成するために不可欠です。 優れた高温強度と優れた熱伝導率で知られる耐火金属である高純度モリブデンで作られたこれらのコンポーネントは、結晶成長に伴う高温と腐食性の環境に耐えることができます。
モリブデンシードチャックは、半導体製造の結晶成長プロセスに不可欠です。 モリブデンシードチャックの動作原理は非常に簡単です。 まず、シリコンウエハまたはシード結晶が、ホルダーとして作用するシードチャックの表面に取り付けられる。 シードチャックにより、ウェーハを結晶成長に不可欠な方向に正確に配置することができます。 次に、シードチャックは、高温と表面張力を受けながら、結晶成長プロセス中にウェーハを所定の位置に保持します。 成長過程で、種結晶は核として機能し、原子はその表面に付着して、より大きな結晶を形成します。 シードチャックの正確な形状は、結晶の均一な成長、したがって最終的な半導体製品の性能に重要な役割を果たします。 結晶が成長するにつれて、シードチャックはウェーハの向きと位置を正確に制御し、欠陥のない高品質の結晶の生成を確実にする必要があります。
モリブデンボートは、融点が高く、熱伝導率が高く、熱膨張係数が低いため、さまざまな材料を蒸発させるために使用できます。 金属、半導体、セラミック材料、およびその他の非金属材料はすべて、モリブデンボートで蒸発させることができます。
例えば、金、銀、アルミニウム、銅、及び白金などの金属は、一般的に、薄膜蒸着のためにモリブデンボートで蒸発される。 シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素、リン化インジウムなどの多くの半導体材料、およびアルミナやジルコニアなどのセラミック材料も、モリブデンボートで蒸発させることができます。
さらに、モリブデンボートは、酸化物、硫化物、窒化物などの非金属材料の蒸発に理想的です。 たとえば、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化鉄、硫化亜鉛などの材料は、モリブデンボートで蒸発させることができます。
全体として、モリブデンボートの多様性により、さまざまな薄膜堆積用途向けの幅広い材料の蒸発に役立ちます。
