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モリブデンターゲットの要件は、従来の材料産業の要件よりもはるかに厳しいものです。 これらの要件には、サイズ、平坦度、純度、不純物の含有量、密度、N/O/C/Sレベル、粒子サイズ、および欠陥制御などの側面が含まれます。 さらに厳密または特殊な要件には、表面粗さ、抵抗値、粒径の均一性、組成と微細構造、異物 (酸化物) の含有量とサイズ、透磁率、超高密度、とりわけ、超細粒。
マグネトロンスパッタリングコーティングは、電子銃システムを利用してメッキされた材料に電子を集束および放出する、新しく開発された物理蒸着技術です。 運動量交換の原理に従うことにより、原子は高い運動エネルギーでターゲット表面から放出され、基板上に沈降して膜を形成します。 めっきプロセスに使用される材料はスパッタリングターゲットと呼ばれ、金属、合金、セラミック化合物などのさまざまな材料から作ることができます。
モリブデンターゲットは、マグネトロンスパッタリングのプロセスによる薄膜の制造に使用される。 このプロセスでは、金属ターゲットに高エネルギーイオンを衝突させ、ターゲット表面から原子を放出します。 次に、これらの放出された原子が基板上に堆積して薄膜を形成します。
モリブデンターゲットの動作原理は、ターゲットが基板の反対側のチャンバーに配置される真空環境を設定することを含みます。 ターゲットは、熱および化学的安定性に優れた耐火金属であるため、典型的にはモリブデンでできている。
真空が確立されると、アルゴンなどのガスがチャンバに導入され、マグネトロンスパッタリング源によってイオン化される。 イオン化されたガスはモリブデンターゲットに向かって加速され、原子が表面から放出される。 次に、これらの放出された原子は、基板に向かって飛んで堆積し、超薄膜を形成します。
薄膜の厚さおよび特性は、出力、圧力、およびガス流量などのプロセスパラメータを調整することによって制御することができる。 モリブデンターゲットは、半導体から太陽電池や医療機器まで、さまざまな用途で薄膜を製造するために使用できます。
汎用性: スパッタリングターゲットは、金属、合金、セラミック、半導体などのさまざまな材料に薄膜を堆積させることができます。
高純度: スパッタリングターゲットは、高純度レベルと低不純物で製造できるため、電子および半導体アプリケーションに最適です。
精度: スパッタリングプロセスにより、堆積した薄膜の厚さと特性を正確に制御できます。
効率: スパッタリングは高速かつ効率的なプロセスであり、大量生産アプリケーションに最適です。
経済: スパッタリングターゲットは長い耐用年数を持ち、リサイクルすることができるため、このプロセスは薄膜を堆積させる経済的で持続可能な方法になります。
純度: 99.95%
密度: ≥ 10.2g/cm3
サイズ範囲: 必要に応じてカスタマイズ可能
外観: 顕微鏡検査では、酸化/水素化の変色、引っかき傷、変形、バリなどのない、均一な金属光沢のある表面が示されています。
用途: 真空熱処理炉用の加熱部品や断熱部品の製造、化学産業における消化器、ヒーター、クーラー、さまざまな器具、デバイスの製造に使用されます。 また、航空宇宙産業、医療機器、その他の分野にも広く適用されています。 スパッタリングターゲットは、新たに開発された物理蒸着 (PVD) 法であるマグネトロンスパッタコーティングに使用される。
回転ターゲットは一種のスパッタリングターゲットです。 ターゲットは円筒形に作られており、低速で回転コーティングを実現するために内部に固定磁石が装備されています。
必要に応じて、次のサイズのモリブデンスパッタリングターゲットを提供できます。長さ ≤ 165 mm X1000mm、純度 ≥ 99.95%。
用途: 太陽電池、建築用ガラス、自動車用ガラス、半導体、フラットパネルテレビなど
高純度の広いモリブデンのターゲットはAMOLEDのパネルの生产の主要な原料の1つです。 当社の製品には、主にG2.5-G6生成TFT-LCD/AMOLEDで使用されるTFT-LCD/AMOLEDに適した、超ワイド、高純度、高密度の平面モリブデンスパッタリングターゲットが含まれます。それによって中国市場の広いモリブデンターゲット (1800mm) のギャップを埋める。
スパッタリングターゲットは、次のような幅広い用途で利用されています。
半導体業界: スパッタリングターゲットは、マイクロエレクトロニクスコンポーネントと集積回路の製造において重要な役割を果たします。
太陽電池産業: スパッタリングターゲットは、基板上に薄膜を堆積させるための太陽電池の製造に使用されます。
ディスプレイ業界: スパッタリングターゲットは、フラットパネルディスプレイやタッチスクリーンの製造に使用されています。
自動車産業: スパッタリングターゲットは、視界を改善し、まぶしさを減らすために、自動車のガラスに薄膜を堆積させるために使用されます。
コーティング業界: スパッタリングターゲットは、さまざまな基板に硬く、装飾的で、耐摩耗性のコーティングを堆積させるために使用されます。
医療機器業界: スパッタリングターゲットは、ステントやペースメーカーなどの医療機器の製造に使用されます。
全体として、スパッタリングターゲットの多様性により、多くの産業および技術アプリケーションで不可欠なコンポーネントになっています。
