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モリブデンターゲットボンディングは、モリブデンターゲットをバッキングプレートに取り付けるプロセスです。 このプロセスでは、高温ろう技術を使用してモリブデンターゲットを結合します。これにより、スパッタリングプロセス中の高い熱的および機械的応力に耐えることができます。 モリブデンターゲットの高い真空互換性と優れた熱伝導率により、物理蒸着 (PVD) やマグネトロンスパッタリングなどのプラズマベースの蒸着技術での使用に非常に適しています。 ターゲット結合は、モリブデンターゲットがその寿命にわたって効率的かつ確実に機能することを保証するための重要なステップです。
モリブデンターゲットボンディングには、モリブデンターゲットをバッキングプレートに結合するプロセスが含まれ、スパッタリング用途に必要な高温および高ストレス環境に耐えることができる強力なボンドを作成します。 モリブデンターゲットボンディングの動作原理は、使用される特定のボンディング方法に依存します。
一般的な結合方法の1つはろう付けです。これは、フィラー金属をその融点より上で、しかしベース材料の融点より下で加熱し、それを流して材料を一緒に結合させることを含みます。 これにより、高温と応力に耐えることができる強力で永続的な結合が作成されます。
別の結合方法は拡散結合です。これは、熱と圧力を使用して材料を結合し、原子が界面を横切って拡散し、強い結合を形成できるようにする固体溶接プロセスです。
爆発性接合は、2つの金属片の間に高速衝突を引き起こし、それらを一緒に結合させる結合方法です。 これは、高温および応力に耐えることができる強い結合を提供する。
使用される特定の接合方法は、ターゲットのサイズおよび形状、基板のタイプ、および意図される用途などの要因に依存する。 全体として、モリブデンターゲットボンディングの動作原理は、スパッタリングアプリケーションで必要とされる過酷な環境に耐えるために、ターゲットとバッキングプレートの間に強力で永続的なボンドを作成することを含みます。
モリブデンターゲットをバッキングプレートに結合する方法はいくつかあり、それぞれに独自の利点と制限があります。 選択される方法は、ターゲットのサイズおよび形状、基板のタイプ、および意図される用途などの要因に依存する。 モリブデンターゲットに使用されるいくつかの結合方法は次のとおりです。
ろう付け-この方法では、フィラー金属をその融点より上であるがベース材料の融点より下に加熱して2つの材料を結合し、材料を流して結合できるようにします。 ろう付けは、高温と応力に耐えることができる強力で永続的な結合を作成するため、モリブデンターゲットを結合するために使用される一般的な方法です。
拡散結合-これは、熱と圧力を使用して材料を結合する固体溶接プロセスであり、原子が界面を横切って拡散し、強い結合を形成できるようにします。 拡散結合は、汚染物質や材料特性を損なうことなく高い結合強度が必要な場合に好まれます。
爆発的な結合-この方法は、2つの金属片の間に高速衝突を引き起こし、それらを一緒に結合させます。 爆発性結合は強力な結合を提供し、高温と応力に耐えることができます。
熱圧縮ボンディング、直接ボンディング、超音波ボンディングなどの他の方法を使用してもよい。 選択されるボンディング方法は、用途の特定の要件に依存する。
